Плазмотег
English
Главная
Публикации
Патенты
Контактная информация

Лаборатория физики поверхности



Лаборатория создана в 2004 году. В лаборатории работает 8 сотрудников. Заведующий лабораторией — Обухов Вячеслав Евгеньевич, кандидат технических наук, член Ученого совета Физико-технического института НАН Беларуси.


Основные направления НИОКР

Фундаментальные исследования:

• физика поверхности;
• физика газофазного синтеза алмазоподобных углеродных пленок;
• электронно-микроскопические исследования структуры тонкопленочных конденсатов.

Прикладные исследования:

• исследования процессов формирования износостойких покрытий, осаждаемых методами плазмо-химического осаждения из газовой фазы на рабочих поверхностях деталей испытывающих трение;
• создание устройств для тестирования интегральных микросхем в процессе их изготовления.

Направления исследований и разработок по новым, приоритетным направлениям:

• исследование структуры и свойств новых неорганических материалов на основе легированных алмазоподобных углеродных пленок, синтезируемых методом газофазного осаждения в вакууме;
• синтез структур с новыми свойствами и создание на их основе с применением нанотехнологий биомедицинских датчиков.

Новые формирующиеся направления исследований:

• исследование процессов воздействия высокоэнергетических потоков на свойства углеродных пленок, формируемых из газовой фазы.

Фрагменты голографических рабочих матриц без покрытия и с покрытием
Главная Разработки Публикации Патенты Контактная информация О нас